ISO14644-1

FED STD 209E

CLASS 

Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size

ISO Class

English

Metric 

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

0.5um

5um

m³

m³

m³

ft³

m³

1

ISO1

10

2

2

ISO2

100

26

10

4

3

1

M1.5

1SO3

1,000

265

106

35

4

10

M2.5

ISO4

10,000

2,650

1,060

10

353

5(百級)

100

M3.5

ISO5

100,000

26,500

10,600

100

3,530

29

6(千級)

1,000

M4.5

ISO6

1,000,000 

265,000 

106,000 

1000

35,300

293

7(萬級)

10,000

M5.5

ISO7

10000

353,000

2,930

8(十萬級)

100,000

M6.5

ISO8

100000

3,530,000

29,300

9

ISO9

1000000

35,300,000 

293,000

潔凈度級別

塵埃最允許數/立方米

微生物最大允許數

≥0.5um

≥5um

浮游菌個/立方米

沉降菌個/皿.30min

100

3500

0

5

1

10000

350,000

2,000

100

3

100000

3,500,000

20,000

500

10

300000

10,500,000

61,800

NA

15

個/M³≥0.5um 

ISO
14644-1(1999)

US
209E(1992)

US
209D(1988)

EEC
GGMP(1989)

FRANCE
AFNOR(1981)

GERMANY
VDI 2083(1990)

JAPAN
JAOA(1989)

1

-

-

-

-

-

-

-

3.5

2

-

-

-

-

0

2

10.0

-

M1

-

-

-

-

-

35.3

3

M1.5

1

-

-

1

3

100

-

M2

-

-

-

-

-

353

4

M2.5

10

-

-

2

4

1,000

-

M3

-

-

-

-

-

3,530

5

M3.5

100

A B

4,000

3

5

10,000

-

M4

-

-

-

-

-

35,300

6

M4.5

1,000

1,000

-

4

6

100,000

-

M5

-

-

-

-

-

353,000

7

M5.5

10,000

C

400,000

5

7

1,000,000

-

M6

-

-

-

-

-

3,530,000

8

M6.5

100,000

D

4,000,000

6

8

10,000,000

-

M7

-

-

-

-

-

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m³)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4（十級）

10000

2370

1020

352

83

5（百級）

100000

23700

10200

3520

832

29

6（千級）

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7（萬級）

352000

83200

2930

8（十萬級）

3520000

832000

29300

9（一百萬級）

35200000

8320000

293000